其作用是将芯片的功能模块电路系统以及物理结构地图绘制在印刷母版上，如此才能开始后面芯片的批量制造生产。

　　此次测试的芯片正是人工智能实验室和华威技术共同设计的智能汽车芯片。

　　实验室负责人颜恺明将之命名为灵思。

　　为7纳米工艺芯片。

　　这时徐昀侯盛昌罗长辉等人已经来到这台极紫外光刻机主控系统。

　　能看到晶圆即将进入下一个光刻阶段。

　　待这台庞大精密半导体设备运行时，徐昀则在旁边向侯盛昌介绍。

　　“院长。”

　　“这次制造的芯片是一款智能汽车芯片，由深度科技旗下的人工智能实验室和华威技术设计。”

　　“并且还是使用的应龙eda。”

　　说到最后这件事时，徐昀特意加重了语气。

　　之前新思楷登这几家海外eda巨头公司宣布限制他们使用软件的时候，侯盛昌就说过不需要担心，已经有公司再开发国产eda软件。

　　可见他对华威的应龙eda项目是比较了解的。

　　不过在听到这句话后，他眼神中还是不可避免的闪过了些许意外。

　　下秒侧过脸问道：“应龙项目已经完成并且实际开始应用了吗？”

　　显然这件事很是惊讶。

　　当然这件事也不能怪他，谁会想到华威方面选择大胆尝试借助人工智能模型辅助软件开发后，会使整个开发效率提高这么多。

　　否则就算首台极紫外光刻机能交付使用，只怕应龙eda还不完善。

　　对于这件事倒也没有隐瞒的必要，徐昀稍作思考便组织好语言解释。

　　“是的院长。”

　　“早在年前应龙eda项目就已经完成。”

　　“那么快？”侯盛昌惊呼。

　　徐昀微笑着解答：“这是因为他们借助了人工智能模型笨笨的辅助。”

　　“原来如此。”侯盛昌闻言立刻想明白了中间情况。

　　眼下根据笨笨复制来的人工智能深海，已经逐步运用到各种领域上，并且发挥出了远超人类的能力，辅助软件开发自然不算什么。

　　这点侯盛昌还是有一定认知的。

　　“太好了。”

　　“如此我们的芯片制造产业链就能完全解决，今后不再有什么掣肘了。”

　　随即他想到这个情况带来的作用，脸上的笑容顿时又盛了几分。

　　周围其他人虽没开口发言，但从神情来看心情也都算不错。

　　尽管到现在测试才算刚刚开始，可看到徐昀这波澜不惊信心十足的状态，倒是让他们都平复了许多。

　　进行光刻前晶圆一般要通过高温加热方式其表面产生氧化膜，作为光导纤维便于后续的光刻流程，这也就是所谓的覆膜。

　　晶圆完成这项流程后，接下来便是涂抹光刻胶。

　　值得一提的是，这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。

　　而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶，检测表现出来的数据远远超过对方。

　　关键成本方面更加低廉。

　　不过由于先前国内并不具有高端光刻机，所以一直没有办法实际测试。

　　今天总算能代替其真正价值。

　　只要表现的足够稳定，那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。

　　对此侯盛昌则最为高兴，想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱，便让人心情舒爽。

　　要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节，是必须要攻克的存在。

　　以往国内没有高端光刻机，也就未朝高端光刻胶领域过多发展。

　　进行研究的皆以低端光刻胶为主。

　　根本无法使用在光刻机上。

　　幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶，否则空有光刻机没有高端光刻胶，照样无法完成今天的测试。

　　哪怕成功交付，也解决不了半导体领域问题。

　　毕竟就算立刻投入大量精力去研究，也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。

　　“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊，要不然今天的测试就只能进行到这步了。”

　　或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。

　　再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。

　　说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。

　　这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

　　徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。

　　当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”

　　他这话自然不是谦虚。

　　这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。

　　比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

　　如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。

　　这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

　　基本晶圆厂绝对不会冒险。

　　否则所造成的损失将直接影响到利润。

　　侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

　　随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

　　将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

　　后面则需要溶解光刻胶。

　　使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

　　清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。

　　尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。

　　虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

　　在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

　　并丢弃瑕疵芯片。

　　余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。

　　把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。

　　虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。

　　接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。

　　如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。

　　相信解释肯定会引起全球的轰动。

　　“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”

　　徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。

　　眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。

　　“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。

　　侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。

　　可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。

　　“那好吧。”

　　随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一起前往不远处的休息室。

　　由于其他人还要盯着主控系统记录数据，此刻休息室内除了徐昀和侯盛昌外，只有罗长辉院士和杨靖研究员两个人。

　　国产极紫外光刻机进展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。

　　这使得大家的心情都很不错，连带休息室的氛围都轻松了不少。

　　“这次可要好好看看海外那些家伙的脸，无论如何他们也不会想到我们的进度会这么快。”

　　“等我们宣布这个消息，相信全球都会动容的。”杨靖这时接过罗长辉的话微笑着补充了句。

　　身边侯盛昌也是满脸笑容：“这一天的到来确实很值得期待。”

　　“已经不远了。”

　　心情从来没有像今天这么高兴。

　　听着众人的谈话，徐昀要说不高兴那绝对是假的。

　　不过说实话他的心思却不在这上面。

　　国产极紫外光刻机的研发成功已经是板上钉钉，基本不会出现什么状况。

　　可以说他是否继续留在锦城都已经无所谓了。

　　按照他的计划，是等光刻机测试结束后，便立刻返回京州市。

　　这几个月时间内他虽说经常回京州陪陈诗禾，但总共时间并不算多。

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